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單軸高精度直線模組
直線模組采用進口無鐵芯直線電機驅動,平臺行程從100到600 mm,平臺設計精良,軸系裝配工藝嚴謹,性能高,但成本低。這種直線模組可廣泛應用于需要高性價比、高精度解決方案的工業應用,如半導體晶圓檢測、微電子元件測試、取放、DNA測序、激光加工等領域。
這款直線模組采用無鐵芯直線電機作為驅動部件。該直驅平臺具有高速度、較高加速度和穩定的精度性能。與絲桿驅動相比,直線模組結構更緊湊,效率更高。單軸直線模組為要求高吞吐量、高可靠性、定位和靜音運行的應用提供了更好的系統解決方案。
具有良好線性表現的直線模組集成開放式增量光柵系統可以提供亞納米級分辨率、重復性和穩定性。穩定的光學零位保證了雙向歸零的重復性和可靠性。經過激光干涉儀的標定補償,可以很容易地獲得理想的定位精度。輕松實現您對高精度定位的要求。
XY軸高精度直線模組
XY軸平臺由標準單軸精密直驅平臺組成,可同步或獨立控制兩臺直線電機。由于采用標準平臺進行疊加組合應用,行程、載荷、定位精度和雙向重復定位精度可根據實際需要進行選擇,具有選擇范圍廣、組合靈活、成本低等特點。,所以它是一個直驅產品模塊化的平臺。
XY軸高精度直線模組采用進口動定子,位置反饋采用光柵編碼器,導向裝置為精密直線導軌。直線模組的高加速、高速度、高精度的優勢在這個平臺上體現好。同時電機線圈與磁軌運行無接觸、無磨損、無反向間隙,因此其維護要求非常低。廣泛應用于高精度測試、圖像檢測、激光切割、雕刻、達標等設備。
XYZ軸高精度直線模組
XYZ平臺由一個標準的單軸精密直驅平臺組成,可以同步或獨立控制兩個直線電機。具有高加速度、高速度、高穩定性、高可靠性的特點。可根據實際需要分別選擇行程、載荷、定位精度和雙向重復定位精度,可選范圍廣,組合靈活,成本低。這是一個模塊化平臺,使直接驅動產品實用化。TICO直線模組廣泛應用于高速測試、激光切割、激光雕刻、高速取放、自動裝配、圖像檢測、點膠機和包裝。