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目前很多電子產品的兩大核心器件是芯片和屏幕。芯片是大多數電子設備的核心部件,被譽為“工業糧食”。它不僅廣泛應用于智能手機、電視、電腦、汽車等電子設備,而且在軍事、通信、遙控等領域也不可或缺。是5G、人工智能、物聯網、自動駕駛等不可或缺的基礎。然而,芯片制造在世界上是一個復雜的制造業。
以芯片制造中的光刻工序為例:
首先在晶圓上涂上一層特殊的光刻膠,然后將包含數十億個電路元件的芯片藍圖做成掩膜,將縮小后的掩膜通過光投影的方式投射到晶圓的光刻膠膜上。光刻膠膜上發生光化學反應,被照射區域變成可溶于水,顯影清洗后留下的圖案與掩膜上的一致。用專用的特制化學溶液對曝光后的晶圓進行刻蝕,刻蝕后清除所有光刻膠,得到縱橫交錯的電路溝槽。
這個過程需要非常嚴謹的機器設備,尤其是光刻機。因為光刻機需要高精度的系統來對準光刻,制造高精度對準系統幾乎需要非常好的精密機械技術工藝,而直線模組是光刻機中高精度系統的選擇。
在半導體行業,直線模組因其速度快、精度高而被廣泛應用于光刻機設備中,單臺設備往往需要不止一臺直線模組。